一. sj6000激光干涉仪 概述 激光干涉仪 是激光在计量领域中成功的应用之一，利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，在不同领域都有极为广泛的应用，如利用f-p干涉仪和半导体激光二极管测量大型精密离心静态臂长；利用电子散斑干涉技术实现物体表面微小形变的非接触式测量、李永干涉合成孔径雷达实现对地表变形进行测量；利用相干梯度敏感干涉测量技术对静态断裂现象的测量；利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损伤探测、振动模式可视化及测量、晶体和蛋白质生长过程监测、流体中密度场和热对流场的观察与测量、以及光学材料与器件的参数测量等。 二. sj6000激光干涉仪 用途 sj6000激光干涉仪 产品具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。 三. sj6000激光干涉仪 性能特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m。 ④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度 ⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变 2. 应用范围广 ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 ②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析 ③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。 ②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。 ③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。 4 性价比高 性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。 四. sj6000激光干涉仪 技术参数 系统性能 ² 测量方式：单频 ² 稳频精度： 0.05ppm ² 动态采集频率： 50 khz ² 预热时间： 5-10 分钟 ² 工作温度范围： 0~40 ℃ ² 环境温度范围： 0~40 ℃ ² 存储温度范围： -20 ℃ ~70 ℃ 环境补偿示值误差 ² 空气温度传感器：± 0.2 ℃ (0-40 ℃ ) ，分辨率 0.01 ℃ ² 材料温度传感器：± 0.1 ℃ (0-40 ℃ ) ，分辨率 0.01 ℃ ² 空气湿度传感器：± 6% (0-95%) ² 大气压力传感器：± 1mbar (650-1150mbar) 线性测量 ² 测量距离： 0-40m ² 测量精度： 0.5ppm (0-40 ℃ ) ² 测量分辨率： 1nm ² 测量大速度： 4mec